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從20世紀(jì)中葉開始，硅成了信息技術(shù)的關(guān)鍵材料，是目前應(yīng)用最多的半導(dǎo)體材料．請回答-下列問題：
（1）地殼里各種元素的含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）如右圖所示，其中表示硅元素的是（填字母）．

（2）根據(jù)元素周期表可知，原子序數(shù)為6的碳原子和原子序數(shù)為14的硅原子最外層電子數(shù)均為4，則常溫下硅的化學(xué)性質(zhì)（選填“活潑”、“不活潑”）．
（3）制備硅半導(dǎo)體材料必須先得到高純硅，三氯甲硅烷（SiHCl₃）還原法是當(dāng)前制備高純硅的主要方法．生產(chǎn)過程示意如下：

①整個(gè)制備過程必須達(dá)到無水無氧．在H₂還原SiHCl₃過程中若混入O₂，可能引起的后果是
②由粗硅制取三氯甲硅烷的化學(xué)方程式為．
③在生產(chǎn)過程中物質(zhì)A可循環(huán)使用，A的化學(xué)式是；在生產(chǎn)過程中還有一種可循環(huán)使用的物質(zhì)是．